据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机核心部件题材龙头有：
奥普光电：
光刻机核心部件龙头。奥普光电2025年第三季度季报显示，营业总收入同比增长-5.3%至1.5亿元，净利润同比增长-36.29%至720.84万元。
K9玻璃和光学镀膜晶体材料不用于光刻机上。
近7日股价上涨4.82%，2025年股价上涨33.92%。
蓝英装备：
光刻机核心部件龙头。蓝英装备2024年数据显示，公司2024年营业收入13.62亿，同比增长-5.51%，近五年复合年增长率4.19%；净利润-2175.89万，近五年复合年增长率-41.35%；净利率-1.6%，近五年复合年增长率-45.26%；毛利率27.31%，近五年复合年增长率10.44%。
蓝英装备近7个交易日，期间整体下跌4.54%，最高价为21.84元，最低价为23.23元，总成交量4739.75万手。2025年来下跌-7.42%。
同飞股份：
光刻机核心部件龙头。公司在流动比率方面，从2021年到2024年，分别为11.15%、6.28%、3.77%、2.9%。
近7个交易日，同飞股份下跌0.92%，最高价为73元，总市值下跌了1.16亿元，2025年来上涨44.06%。
福晶科技：
光刻机核心部件龙头。福晶科技2025年第三季度，公司营业总收入同比增长43.21%至3.23亿元；净利润为8982.26万，同比增长53.73%，毛利润为1.8亿，毛利率55.78%。
近7日股价下跌7.05%，2025年股价上涨45.91%。
张江高科：
光刻机核心部件龙头。2025年第三季度季报显示，公司实现营业总收入3亿元，同比增长-34.41%；实现扣非净利润2.47亿元，同比增长1.98%；张江高科毛利润为1.69亿，毛利率56.29%。
近7个交易日，张江高科下跌7.34%，最高价为39.85元，总市值下跌了43.21亿元，下跌了7.34%。
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