据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机龙头有：
海立股份600619：
龙头股，2024年报显示，海立股份净利润3384.85万，毛利率13.52%，每股收益0.03元。
光刻机冷却系统配套。
在近7个交易日中，海立股份有6天上涨，期间整体上涨7.22%，最高价为22.15元，最低价为20.48元。和7个交易日前相比，海立股份的市值上涨了17.17亿元。
冠石科技605588：
龙头股，2024年报显示，公司实现营收13.59亿，同比去年增长51.95%；毛利率10.68%。
在近7个交易日中，冠石科技有4天上涨，期间整体上涨9.24%，最高价为56.38元，最低价为50.28元。和7个交易日前相比，冠石科技的市值上涨了3.76亿元。
张江高科600895：
龙头股，公司总营收近3年复合增长1.99%，净利润近3年复合增长9.31％。
张江高科近7个交易日，期间整体上涨12.68%，最高价为41元，最低价为49.34元，总成交量6.63亿手。2026年来上涨6.51%。
蓝英装备300293：
龙头股，公司的毛利率27.31%，净利率-1.6%，2024年总营业收入13.62亿，同比增长-5.51%；扣非净利润-2043.41万，同比增长45.66%。
近7日蓝英装备股价上涨7.87%，2026年股价上涨6.48%，最高价为23.17元，市值为77.81亿元。
大族激光：1月12日，大族激光（002008）5日内股价上涨3.39%，今年来涨幅上涨3.39%，跌0.43%，最新报44.210元/股。面板上游设备国产配套，国内激光设备龙头。
普利特：普利特消息，1月12日该股开盘报22.8元，截至收盘，股价报23.900元涨4.82%，成交量2.26亿手，换手率29.15%，总市值为265.85亿元。间接参股苏州理硕科技，其涉及光刻胶研发。
奥普光电：1月12日收盘短讯，奥普光电股价下午3点收盘涨8.24%，报价67.900元，市值达到162.96亿。公司子公司禹衡光学产品在国产高精度数控机床，特别是五轴加工中心、高精度磨床等已经实现批量应用。
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