5月15日消息，至纯科技资金净流入1.42亿元，超大单资金净流入2675.54万元，换手率1.57%，成交金额1.51亿元。
近5日资金流向一览见下表：
至纯科技（603690）主营业务为高纯工艺系统的整体解决方案。至纯科技(603690)披露2026年第一季度报告，报告期实现营收6.21亿元，同比-14.7%;归母净利润-7885.31万元，同比-232.76%；扣非净利润-8442.99万元，同比-160.06%。
在所属半导体装备概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，先导基电、芯源微、拓荆科技、雷赛智能等4家是超过30%以上的企业；中微公司、北方华创、精测电子等3家位于20%-30%之间；长电科技、至纯科技、机器人、晶盛机电等4家均不足10%。
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