5月13日消息，截至13时13分至纯科技涨0.93%，报25.090元，换手率1.57%，成交量600.42万手，成交额1.51亿元。
5月15日消息，至纯科技5月15日主力净流入1.42亿元，超大单净流入2675.54万元，大单净流入1.15亿元，散户净流出1.03亿元。
近5日资金流向一览见下表：
至纯科技（603690）主营业务为高纯工艺系统的整体解决方案。至纯科技2026年第一季度报告显示，公司实现主营业务收入6.21亿元，较去年同期增长-14.7%；归属于母公司股东的净利润为-7885.31万元，同比增长-232.76%；扣除非经常性损益后的净利润为-8442.99万元，同比增长-160.06%。
在所属半导体装备概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，先导基电、芯源微、拓荆科技、雷赛智能等4家是超过30%以上的企业；中微公司、北方华创、精测电子等3家位于20%-30%之间；长电科技、至纯科技、机器人等4家均不足10%。
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