5月18日消息，至纯科技主力资金净流出4311.4万元，超大单资金净流出2420.66万元，散户资金净流入4908.72万元。
近5日资金流向一览见下表：
至纯科技（603690）主营业务为高纯工艺系统的整体解决方案。于2026年第一季度，至纯科技披露了其业绩表现，其中主营业务收入6.21亿元，相较于去年同期-14.7%。此外，公司归属于母公司的净利润为-7885.31万元，同比增长了-232.76%。在扣除所有非经常性损益后，净利润-8442.99万元，同比增长-160.06%。
在所属半导体前道设备概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，先导基电、芯源微、拓荆科技、华海清科、中科飞测等5家是超过30%以上的企业；中微公司、北方华创、精测电子等3家位于20%-30%之间；赛腾股份、至纯科技、盛美上海等3家均不足10%。
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