5月22日消息，中微公司主力净流出6.01亿元，超大单净流出2.05亿元，散户净流出707.89万元。
近5日资金流向一览见下表：
中微公司（688012）主营业务为半导体微观加工设备。中微公司2026年第一季度财报显示，公司主营收入29.15亿元，同比34.13%；归母净利润9.3亿元，同比197.2%；扣非净利润4.78亿元，同比60.09%。
在所属巨型芯片概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，美迪凯、源杰科技、天承科技、芯碁微装等5家是超过30%以上的企业；中微公司、德邦科技、甬矽电子等3家位于20%-30%之间；沃格光电、联瑞新材、通富微电等3家位于10%-20%之间。
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