资金流向数据方面，6月3日主力资金净流流入1.65亿元，超大单资金净流入3.04亿元，大单资金净流出1.39亿元，散户资金净流出1590.96万元。
近5日资金流向一览见下表：
中微公司（688012）主营业务为半导体微观加工设备。中微公司2026年第一季度财报显示，公司主营收入29.15亿元，同比34.13%；归母净利润9.3亿元，同比197.2%；扣非净利润4.78亿元，同比60.09%。
在所属半导体PECVD概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，亚翔集成、芯源微、拓荆科技、华海清科、华峰测控等8家是超过30%以上的企业；中微公司、北方华创、光力科技等4家位于20%-30%之间；新莱应材位于10%-20%之间；至纯科技、盛美上海、微导纳米等3家均不足10%。
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