6月5日该股主力资金净流出3.97亿元，超大单资金净流出4.26亿元，大单资金净流入2915.09万元，中单资金净流入4.09亿元，散户资金净流出1238.69万元。
近5日资金流向一览见下表：
中微公司（688012）主营业务为半导体微观加工设备。中微公司2026年第一季度财报显示，公司主营收入29.15亿元，同比34.13%；归母净利润9.3亿元，同比197.2%；扣非净利润4.78亿元，同比60.09%。
在所属CVD概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，昊华科技、中微公司、北方华创等3家位于20%-30%之间；金辰股份和南大光电位于10%-20%之间。
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