截至发稿，芯碁微装（688630）跌4.96%，报184.260元，成交额8亿元，换手率3.26%，振幅涨1.53%。
6月29日消息，芯碁微装主力资金净流入1.84亿元，超大单资金净流入1.89亿元，散户资金净流出210.25万元。
近5日资金流向一览见下表：
芯碁微装（688630）主营业务为直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。在2026年第一季度，芯碁微装的业绩表现，主营业务收入达到5.15亿元，实现了112.48%的同比增长率。同时，公司归母净利润录得1.08亿元，同比增长108.98%。
在所属显影机概念2026年第一季度营业总收入同比增长中，至正股份、芯源微、芯碁微装、罗博特科等4家是超过30%以上的企业；北方华创位于20%-30%之间。
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