据南方财富网概念查询工具数据显示，2025年光刻机龙头股：
华特气体688268：光刻机龙头，近7个交易日，华特气体上涨5.48%，最高价为50.95元，总市值上涨了3.56亿元，上涨了5.48%。
公司的光刻气产品在2017年通过ASML的认证，2021年通过了日本厂商GAGIPHOTON的认证，也是国内唯一一家气体公司同时得到全球第一大和第二大光刻机生产设备商认证的公司。
资金流向数据方面，5月7日主力资金净流流出751.07万元，超大单资金净流出752.39万元，大单资金净流入1.32万元，散户资金净流入949.1万元。
上海电气601727：光刻机龙头，近7个交易日，上海电气上涨5.07%，最高价为7.11元，总市值上涨了59.2亿元，2025年来下跌-8.13%。
5月8日消息，上海电气主力净流入1161.76万元，超大单净流入1694.65万元，散户净流出880.85万元。
东方嘉盛002889：光刻机龙头，近7日东方嘉盛股价上涨2.74%，2025年股价上涨3.51%，最高价为21.47元，市值为56.16亿元。
5月7日该股主力资金净流入200.05万元，超大单资金净流出207.39万元，大单资金净流入407.44万元，中单资金净流出78.04万元，散户资金净流出122.01万元。
冠石科技605588：光刻机龙头，冠石科技近7个交易日，期间整体上涨11.48%，最高价为42.86元，最低价为50.5元，总成交量2869.49万手。2025年来上涨16.01%。
5月7日消息，资金净流出2120.59万元，超大单资金净流出818.93万元，成交金额1.75亿元。
光刻机概念股其他的还有：
永新光学：近5日股价上涨5.64%，2025年股价下跌-4.13%。
百傲化学：近5个交易日股价上涨3.71%，最高价为29.93元，总市值上涨了5.45亿，当前市值为146.69亿元。
紫光国微：近5日股价上涨2.7%，2025年股价上涨2.73%。
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