据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机板块龙头有：
奥普光电（002338）：龙头，
资金流向数据方面，5月7日主力资金净流流入8594.04万元，超大单资金净流入1.21亿元，大单资金净流出3520.67万元，散户资金净流出3521.1万元。
公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破，公司是其旗下唯一上市企业。
2023年，奥普光电公司实现净利润8663.52万，同比增长率为5.91%，近4年复合增长20.87％。
王子新材（002735）：龙头，
5月7日主力资金净流出3041.05万元，超大单资金净流出2222.79万元，换手率4.37%，成交金额1.21亿元。
2023年报显示，王子新材实现净利润6035.11万，同比增长-14.13%，近五年复合增长为2.32%；毛利率20.07%。
华懋科技（603306）：龙头，
5月8日消息，华懋科技5月8日主力资金净流出1881.93万元，超大单资金净流出1811.38万元，大单资金净流出70.55万元，散户资金净流入1764.64万元。
华懋科技公司2023年实现净利润2.42亿，同比上年增长率为21.95%，近3年复合增长17.22％。
张江高科（600895）：龙头，
5月8日该股主力净流出4803.27万元，超大单净流出2354.01万元，大单净流出2449.27万元，中单净流入641.08万元，散户净流入4162.19万元。
公司2023年实现净利润9.48亿，毛利率58.04%，每股收益0.61元。
容大感光（300576）：龙头，
资金流向数据方面，5月7日主力资金净流流出1780.61万元，超大单资金净流出419.72万元，大单资金净流出1360.89万元，散户资金净流入1797.68万元。
2023年报显示，容大感光的净利润8548.57万，同比上年增长率为62.25%。
海立股份（600619）：龙头，
5月8日消息，资金净流出4024.07万元，超大单资金净流出2499.93万元，成交金额3.54亿元。
海立股份公司2023年实现净利润3051.29万，同比增长-13.94%，近三年复合增长为-69.26%；毛利率12.38%。
苏大维格（300331）：龙头，
5月7日消息，苏大维格资金净流入1924.01万元，超大单资金净流入2661.47万元，换手率2.29%，成交金额9633.44万元。
2023年公司净利润-4568.79万，同比上年增长率为83.63%。
华特气体（688268）：龙头，
5月7日消息，华特气体资金净流出751.07万元，超大单净流出752.39万元，换手率1.93%，成交金额1.22亿元。
公司2023年实现净利润1.71亿元，同比上年增长率为-17.18%。
光刻机板块股票其他的还有：
永新光学603297：近7日永新光学股价上涨2.93%，2025年股价下跌-6.13%，最高价为91.88元，市值为98.26亿元。
百傲化学603360：在近7个交易日中，百傲化学有4天上涨，期间整体上涨0.46%，最高价为29.93元，最低价为27.35元。和7个交易日前相比，百傲化学的市值上涨了6557.79万元。
紫光国微002049：近7个交易日，紫光国微下跌1.7%，最高价为65元，总市值下跌了9.35亿元，2025年来上涨0.72%。
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