据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻材料上市公司龙头有：
华懋科技：
龙头，8月21日消息，华懋科技5日内股价上涨6.92%，今年来涨幅上涨40.75%。
拟参与设立合资公司东阳芯华电子材料有限公司经营范围主要为光刻胶单体、光刻胶、树脂、配套溶剂等光刻材料。
在近5个交易日中，华懋科技有3天上涨，期间整体上涨6.92%。和5个交易日前相比，华懋科技的市值上涨了12.14亿元，上涨了6.92%。
凯美特气：
龙头，8月21日股市消息。
近5日凯美特气股价上涨5.13%，总市值上涨了5.7亿。2025年股价上涨61.64%。
光刻材料概念股其他的还有：
盛剑科技：8月21日消息，盛剑科技5日内股价上涨3.13%。
彤程新材：8月21日开盘消息，彤程新材5日内股价上涨3.88%。
格林达：8月21日消息，截至14时29分格林达跌1.68%。
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