三安光电：龙头股，
2025年第一季度， 三安光电公司实现营业总收入43.12亿元， 毛利率16.33%，净利润为7469万元。
近30日三安光电股价上涨14.7%，最高价为15.29元，2025年股价上涨17.15%。
京华激光：龙头股，
2025年第一季度季报显示，公司实现营收2.39亿元， 同比增长27.05%；净利润为2336.34万元，净利率10.57%。
在近30个交易日中，京华激光有16天上涨，期间整体上涨9.56%，最高价为28.76元，最低价为24.26元。和30个交易日前相比，京华激光的市值上涨了4.59亿元，上涨了9.56%。
20年6月，公司已经从子公司美国菲涅尔制版科技公司签约引进两台光刻机，其中一台已经投入运行；公司在光学制版时用到光刻机，与芯片产业的光刻机应用方向不同，公司涉及的光刻机只应用于光学制版，不应用于芯片和集成电路产业。
蓝英装备：龙头股，
在扣非净利润方面，从2021年到2024年，分别为-9306.97万元、-7468.09万元、-3760.16万元、-2043.41万元。
在近30个交易日中，蓝英装备有17天上涨，期间整体上涨10.94%，最高价为28.1元，最低价为23.91元。和30个交易日前相比，蓝英装备的市值上涨了9.98亿元，上涨了10.94%。
王子新材：龙头股，
2025年第一季度显示，王子新材公司营业收入同比增长36.21%至5.17亿元，净利润同比增长66.29%至841.64万元。
回顾近30个交易日，王子新材股价下跌5.48%，总市值上涨了1.07亿，当前市值为59.98亿元。2025年股价上涨41.02%。
光刻机概念股其他的还有：
安泰科技：公司并不直接涉及光刻机领域，但公司相关产品可用于国外某型号光刻机设备。
中旗新材：2025年6月3日投资者关系活动记录表显示，公司的产品主要定位于未来的先进封装技术，包括2.5D、3D封装，以及面向人工智能应用的芯片制造所需的特殊设备的设计、开发与制造。目前，星空科技已初步形成了光刻机系列、纳米压印系列、芯片键合系列、硅片键合系列以及光学检测系列等多个产品体系。
联合精密：公司在建工程中包括光刻机零部件铸件项目。
红宝丽：公司的主要产品是异丙醇胺，该产品可以应用于光刻胶清洗。
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