据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机题材龙头有：
海立股份（600619）：龙头股，9月29日该股主力净流出1841.79万元，超大单净流入220.91万元，大单净流出2062.7万元，中单净流入10.12万元，散户净流入1831.67万元。
海立股份2024年净利润3384.85万，同比上年增长率为10.93%。
茂莱光学（688502）：龙头股，9月29日消息，资金净流入3277.23万元，超大单净流入3325.8万元，成交金额4.43亿元。
2024年报显示，茂莱光学公司的营业收入5.03亿元，同比增长9.78%，近3年复合增长7.06%。
蓝英装备（300293）：龙头股，9月29日该股主力资金净流出2012.97万元，超大单资金净流入44.95万元，大单资金净流出2057.92万元，中单资金净流出519.63万元，散户资金净流入2532.59万元。
2024年蓝英装备公司营业总收入13.62亿，净利润为-2043.41万元。
同飞股份（300990）：龙头股，资金流向数据方面，9月29日主力资金净流流入938.31万元，超大单资金净流入686.77万元，大单资金净流入251.54万元，散户资金净流出541.59万元。
公司2024年营收为21.6亿元，净利润为1.53亿元，过去三年平均ROE为9.1%。
福晶科技（002222）：龙头股，9月29日消息，福晶科技主力净流出1661.13万元，超大单净流出3095.21万元，散户净流出813.88万元。
福晶科技2024年公司营业总收入8.76亿，同比增长12.04%；毛利率53.76%，净利率25.86%。
苏大维格（300331）：龙头股，9月29日消息，苏大维格资金净流出1756.32万元，超大单资金净流出1690.84万元，换手率7.65%，成交金额5.6亿元。
苏大维格2024年营收18.41亿，同比增长6.85%，近三年复合增长为3.57%；净利润-5805万，同比增长-27.06%，近三年复合增长为-54.39%。
张江高科（600895）：龙头股，9月29日消息，张江高科9月29日主力净流出5.8亿元，超大单净流出5.1亿元，大单净流出7030.37万元，散户净流入5.34亿元。
2024年报显示，公司实现营收19.83亿，同比去年增长-2.09%；毛利率56.77%。
冠石科技（605588）：龙头股，9月29日资金净流入7855.13万元，超大单净流入1.17亿元，换手率6.15%，成交金额2.59亿元。
公司2024年实现总营收13.59亿，毛利率10.68%；每股经营现金流2.09元。
国产光刻机板块股票其他的还有：
飞乐音响600651：近7日飞乐音响股价下跌4.3%，2025年股价上涨51.86%，最高价为10.2元，市值为215.6亿元。
上海机电600835：近7个交易日，上海机电下跌2.17%，最高价为27.05元，总市值下跌了6.14亿元，下跌了2.17%。
电科数字600850：近7个交易日，电科数字下跌3.53%，最高价为28.69元，总市值下跌了6.87亿元，下跌了3.53%。
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