据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻设备概念股龙头股票有：
苏大维格300331：
龙头，2024年苏大维格公司营业总收入18.41亿，净利润为-9441.91万元。
公司是国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，通过自主研发微纳光学关键制造设备——光刻机及纳米压印设备，构建了模块化、知识密集、可升级和快速配置的微纳制造平台体系。公司掌握光学图形设计、自研光刻机并自制模具、自研压印设备并批量复制的微纳光学全链条技术能力，对市场需求、技术迭代等反应迅速，可为客户提供从初始设计到产成品的定制化技术服务。
近7个交易日，苏大维格下跌10.11%，最高价为37.01元，总市值下跌了9.24亿元，2025年来上涨38.6%。
张江高科600895：
龙头，2024年张江高科公司营业总收入19.83亿，净利润为9.27亿元。
近7日股价上涨23.64%，2025年股价上涨51.23%。
福晶科技002222：
龙头，2024年公司营业总收入8.76亿，净利润为2.16亿元。
近7个交易日，福晶科技下跌6.14%，最高价为51.66元，总市值下跌了14.34亿元，下跌了6.14%。
奥普光电002338：
龙头，奥普光电2024年公司营业总收入7.45亿，净利润为4519.53万元。
近7个交易日，奥普光电下跌0.19%，最高价为56.3元，总市值下跌了2640万元，2025年来上涨34.57%。
芯碁微装：10月9日开盘消息，芯碁微装最新报价141.340元，3日内股价下跌3.68%，市盈率为114.91。公司WLP-8无掩膜直写光刻设备用于晶圆级封装，属于先进封装之一，是高级别的光刻设备。
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