据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺系统上市公司龙头有：
至纯科技：高纯工艺系统龙头。2025年第二季度，至纯科技实现营业总收入8.8亿元，同比增长22.88%；实现扣非净利润926.83万元，同比增长70.1%；毛利润为2.36亿。
致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。系统解决方案涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。
近3日至纯科技股价下跌5.53%，总市值上涨了14.58亿元，当前市值为134.35亿元。2025年股价上涨28.38%。
其他高纯工艺系统概念股：
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