据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机板块龙头股票有：
南大光电（300346）：
龙头股，10月17日消息，南大光电10月17日主力资金净流出1.7亿元，超大单资金净流出3683.21万元，大单资金净流出1.34亿元，散户资金净流入2.12亿元。
公司主要产品订单饱和；正在研发和产业化的ArF光刻胶有小批量订单。
2024年公司净利润2.71亿，同比上年增长率为28.15%。
华特气体（688268）：
龙头股，10月17日该股主力净流出1530.63万元，超大单净流出935.57万元，大单净流出595.06万元，中单净流入979.12万元，散户净流入551.51万元。
公司2024年实现净利润1.85亿，同比增长7.99%，近五年复合增长为14.78%；每股收益1.54元。
海立股份（600619）：
龙头股，10月17日消息，海立股份主力净流出1.09亿元，超大单净流出5558.26万元，散户净流入1.15亿元。
海立股份公司2024年实现净利润3384.85万元，同比上年增长率为10.93%。
冠石科技（605588）：
龙头股，10月17日消息，冠石科技10月17日主力净流出1060.46万元，超大单净流出583.99万元，大单净流出476.48万元，散户净流入1619.17万元。
冠石科技公司2024年实现净利润-1545.51万，毛利率10.68%，每股收益-0.21元。
华懋科技（603306）：
龙头股，10月17日消息，华懋科技资金净流入202.53万元，超大单资金净流出2307.12万元，换手率1.76%，成交金额2.83亿元。
2024年，公司实现净利润2.77亿，同比增长14.64%，近五年复合增长为8.39%；毛利率30.92%。
雅克科技（002409）：
龙头股，10月19日该股主力净入-2.23亿元，其中资金流入方面：超大单净入1.22亿元，大单净入3.39亿元，中单净入4.26亿元，散户净入5.08亿元；资金流出方面：超大单净出2.66亿元，大单净出4.18亿元，中单净出4.1亿元，散户净出3.01亿元。
公司2024年实现净利润8.72亿，同比增长50.41%，近五年复合增长为20.52%；每股收益1.83元。
飞凯材料（300398）：
龙头股，10月17日消息，飞凯材料主力资金净流出6592.73万元，超大单资金净流出3178.02万元，散户资金净流入6581.08万元。
飞凯材料2024年净利润2.47亿，同比上年增长率为119.42%。
京华激光（603607）：
龙头股，10月17日消息，京华激光资金净流入588.93万元，超大单资金净流入722.38万元，换手率0.73%，成交金额3046.33万元。
京华激光公司2024年实现净利润1.06亿，同比上年增长率为13.46%，近3年复合增长-8.19％。
光刻机板块股票其他的还有：
长电科技600584：近7个交易日，长电科技下跌18.99%，最高价为45元，总市值下跌了134.21亿元，2025年来下跌-3.44%。
旭光电子600353：近7日旭光电子股价下跌10.49%，2025年股价上涨56.71%，最高价为21.39元，市值为140.68亿元。
东材科技601208：东材科技近7个交易日，期间整体下跌15.52%，最高价为20.22元，最低价为20.93元，总成交量2.74亿手。2025年来上涨56.99%。
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