据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机概念龙头股有：
冠石科技605588：
国产光刻机龙头。截至10月23日15时收盘，冠石科技(605588)报54.710元，跌2.95%，当日最高价为55.52元，换手率2.11%，PE（市盈率）为-260.52，成交额8415.25万元。
10月24日主力资金净流出362.12万元，超大单资金净流出283.69万元，换手率2.11%，成交金额8415.25万元。
同飞股份300990：
国产光刻机龙头。10月20日收盘最新消息，同飞股份昨收69.9元，截至15点收盘，该股涨1.55%报72.240元 。
10月24日消息，同飞股份主力净流入2990.04万元，超大单净流出36.44万元，散户净流出3714.9万元。
福晶科技002222：
国产光刻机龙头。10月22日消息，福晶科技开盘报44.4元，截至下午3点收盘，该股涨0.4%，报46.090元。当前市值216.74亿。
10月24日该股主力净入2286.47万元，其中资金流入方面：超大单净入7198.72万元，大单净入1.95亿元，中单净入2.27亿元，散户净入1.52亿元；资金流出方面：超大单净出6577.85万元，大单净出1.78亿元，中单净出2.35亿元，散户净出1.66亿元。
张江高科600895：
国产光刻机龙头。10月21日收盘消息，张江高科7日内股价下跌2.06%，最新涨1.54%，报45.550元，换手率3.58%。
资金流向数据方面，10月24日主力资金净流流入4632.9万元，超大单资金净流入4190.96万元，大单资金净流入441.94万元，散户资金净流出2204.46万元。
国产光刻机概念股其他的还有：
飞乐音响：近5个交易日股价下跌2.92%，最高价为9.48元，总市值下跌了6.27亿。
上海机电：在近5个交易日中，上海机电有4天上涨，期间整体上涨4.97%。和5个交易日前相比，上海机电的市值上涨了13.19亿元，上涨了4.97%。
电科数字：近5个交易日股价上涨4.03%，最高价为28.71元，总市值上涨了7.75亿。
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