据南方财富网概念查询工具数据显示，相关极紫外光刻概念股：
1、大恒科技600288：10月27日消息，大恒科技资金净流出-3015.45万元，超大单资金净流入-1558.62万元，最新报15.220元，换手率7.3%，成交总金额4.9亿元。
2018年大恒科技光电所承担的科技部重大仪器专项“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪”、“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目完成预验收工作，已报正式验收流程。
从大恒科技近三年ROE来看，过去三年ROE最低为2024年的-1.73%，最高为2022年的3.84%。
2、奥普光电002338：截至10月27日15点，奥普光电报55.490元，跌0.14%，换手率3.54%，成交量849.22万手，市值为133.18亿元。
长春光机所旗下企业，承担光刻机物镜系统研发，技术突破支撑国产化。
从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为-17.7%，过去三年ROE最低为2024年的5.27%，最高为2022年的7.78%。
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