据南方财富网概念库数据显示，相关光刻技术题材上市公司：
芯碁微装：从近五年净利润复合增长来看，公司近五年净利润复合增长为22.64%，过去五年净利润最低为2020年的7103.89万元，最高为2023年的1.79亿元。
依托核心技术，卓越性能，科技创新等强大的核心竞争力，公司自成立以来，先后荣获“科技小巨人培育企业”、“合肥市直写光刻设备工程技术研究中心”、“国家高新技术企业”、“2018年度中国电子电路行业百强企业”等多项殊荣，公司产品也先后获得2017年、2018年安徽省首台(套)重大技术装备、2019年“创客中国”中小企业创新创业大赛全国二等奖和中国创新创业大赛先进制造行业全国二等奖，工信部“2019年工业强基工程”项目支持。
近30日芯碁微装股价上涨12.2%，最高价为139.9元，2025年股价上涨58.14%。
苏大维格：从近三年净利润复合增长来看，公司近三年净利润复合增长为-54.39%，最高为2023年的-4568.79万元。
微纳光学技术是集光学理论、工程应用、光学检测、微纳结构设计、软件开发、自动化控制、数字图像处理、精密机械制作等多方面技术为一体的综合性技术，需要多领域专业人才协同合作，充分发挥团队力量。
回顾近30个交易日，苏大维格下跌8.69%，最高价为37.96元，总成交量3.65亿手。
惠伦晶体：从惠伦晶体近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为4.62%，最高为2023年的-1.68亿元。
2021年5月31日回复称公司掌握了实现高基频、小型化的关键技术——基于半导体技术的光刻工艺，且已完成光刻生产线的安装调试并开始小批量生产。公司的光刻工艺主要应用于MHz领域，既能实现晶片的小型化，也能实现晶片的高基频。
在近30个交易日中，ST惠伦有13天下跌，期间整体下跌21.2%，最高价为11.66元，最低价为9.57元。和30个交易日前相比，ST惠伦的市值下跌了4.75亿元，下跌了21.2%。
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