茂莱光学：龙头，
12月24日消息，茂莱光学收盘于407.190元，跌0.62%。7日内股价上涨6.7%，总市值为215亿元。
近30日股价上涨12.12%，2025年股价上涨50.54%。
精密光学器件已应用于国产光刻机，包括用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件。
同飞股份：龙头，
12月24日收盘消息，同飞股份7日内股价上涨23.5%，最新涨3.6%，报96.350元，换手率23.03%。
近30日股价上涨19.25%，2025年股价上涨57.14%。
海立股份：龙头，
12月24日消息，海立股份5日内股价上涨4.09%，最新报21.020元，成交量4353.32万手，总市值为225.62亿元。
近30日海立股份股价上涨3.09%，最高价为23.65元，2025年股价上涨41.96%。
蓝英装备：龙头，
12月24日收盘最新消息，蓝英装备昨收21.45元，截至收盘，该股涨0.7%报21.600元 。
在近30个交易日中，蓝英装备有16天下跌，期间整体下跌3.24%，最高价为23.69元，最低价为22.08元。和30个交易日前相比，蓝英装备的市值下跌了2.37亿元，下跌了3.24%。
冠石科技：龙头，
12月24日收盘消息，冠石科技今年来涨幅上涨21.6%，最新报51.990元，成交额1.22亿元。
回顾近30个交易日，冠石科技股价下跌2.48%，最高价为54.58元，当前市值为38.2亿元。
国产光刻机概念股其他的还有：
大族激光：布局光刻机激光光源技术，其精密光学系统已切入国产光刻机供应链。业绩爆发：2024年Q1净利润同比激增594%，毛利率33.3%，技术储备对标ASML。想象空间：激光直写光刻设备已实现量产，未来或切入先进封装领域。
普利特：间接参股苏州理硕科技，其涉及光刻胶研发。
奥普光电：中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头企业，布局超精尺，可用于光刻机。
北方华创：半导体设备全产业链布局，覆盖光刻、沉积、刻蚀，为国产CPU制造提供一站式设备支持。
华软科技：公司光刻胶基材小批量订单。
百川股份：光刻机溶剂PMA。
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