据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机龙头股如下：
波长光电：光刻机龙头。
12月26日消息，波长光电截至收盘，该股跌3.13%，报104.990元；5日内股价下跌2.99%，市值为121.49亿元。
2025年第三季度，波长光电营收1.22亿，净利润948.64万，每股收益0.1，市盈率282.03。
在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。在激光检测和测量方向，公司产品目前已进入半导体光刻领域配套检测产业。
蓝英装备：光刻机龙头。
12月29日开盘消息，蓝英装备5日内股价下跌0.89%，今年来涨幅下跌-6.87%，最新报21.260元，成交额7821.26万元。
2025年第三季度季报显示，公司营业总收入2.77亿元，净利润-1632.84万元，每股收益-0.04元，市盈率-384.67。
华懋科技：光刻机龙头。
华懋科技（603306）10日内股价下跌3.57%，最新报59.380元/股，跌0.1%，今年来涨幅上涨46.77%。
华懋科技公司2025年第三季度营收约6.76亿元，同比增长18.34%；净利润约3018.31万元，同比增长-43.72%；基本每股收益0.11元。
容大感光：光刻机龙头。
12月29日消息，容大感光（300576）开盘跌1.4%，报39.550元/股，成交量1284.86万手，换手率5.52%，振幅跌1.4%。
2025年第三季度，容大感光营收2.77亿，净利润3110.81万，每股收益0.08，市盈率87.93。
康达新材：光刻机龙头。
12月29日消息，康达新材今年来涨幅上涨36.69%，最新报15.210元，涨1.6%，成交额2.91亿元。
康达新材2025年第三季度营收14.92亿，净利润1097.39万，每股收益0.11，市盈率-17.9。
光刻机概念股其他的还有：
东方钽业：东方钽业（000962）10日内股价上涨7.74%，最新报31.790元/股，涨3.48%，今年来涨幅上涨56.9%。子公司东方超导产品铌超导腔作为粒子加速器的核心部件，被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置。此前清华大学的一项研究描述了一种新型光源整合技术，首次展示了同步辐射光源与自由电子激光这两种主要加速器光源结合后的特性，或可用于实现大功率EUV光源。
安泰科技：截至发稿，安泰科技（000969）跌1.55%，报20.320元，成交额12.29亿元，换手率5.81%，振幅跌1.55%。2020年5月25日回复称公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中。
中旗新材：12月29日消息，中旗新材3日内股价下跌5%，最新报51.650元，跌2.55%，成交额3.74亿元。2025年6月3日投资者关系活动记录表显示，公司的产品主要定位于未来的先进封装技术，包括2.5D、3D封装，以及面向人工智能应用的芯片制造所需的特殊设备的设计、开发与制造。目前，星空科技已初步形成了光刻机系列、纳米压印系列、芯片键合系列、硅片键合系列以及光学检测系列等多个产品体系。
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