据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机上市龙头企业有：
茂莱光学：国产光刻机龙头，12月31日该股主力净入-63.18万元，其中资金流入方面：超大单净入4350.59万元，大单净入1.21亿元，中单净入2.04亿元，散户净入1.05万元；资金流出方面：超大单净出4473.62万元，大单净出1.21亿元，中单净出2.02亿元，散户净出148.76万元。
12月31日消息，茂莱光学最新报399.050元，涨0.53%。成交量93.39万手，总市值为210.7亿元。
精密光学器件已应用于国产光刻机，包括用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件。
冠石科技：国产光刻机龙头，12月31日该股主力净入-371.11万元，其中资金流入方面：超大单净入373.23万元，大单净入1098.5万元，中单净入1669.9万元，散户净入1922.89万元；资金流出方面：超大单净出519.61万元，大单净出1323.23万元，中单净出1152.56万元，散户净出2069.12万元。
12月31日开盘消息，冠石科技截至15时收盘，该股报50.490元，涨0.36%，7日内股价下跌1.27%，总市值为37.09亿元。
蓝英装备：国产光刻机龙头，12月31日该股主力资金净流出491.99万元，超大单资金净流出304.32万元，大单资金净流出187.67万元，中单资金净流出366.33万元，散户资金净流入858.31万元。
12月31日开盘消息，蓝英装备3日内股价下跌0.66%，最新报21.120元，成交额9381.97万元。
国产光刻机概念股其他的还有：
大族激光：12月31日消息，大族激光(002008)开盘报41.75元，截至15时，该股跌1.69%报41.190元，换手率1.68% ，成交额6.68亿元。面板上游设备国产配套，国内激光设备龙头。
普利特：12月31日开盘消息，普利特截至15点，该股报15.990元，涨2.37%，7日内股价上涨18.01%，总市值为177.86亿元。间接参股苏州理硕科技，其涉及光刻胶研发。
奥普光电：奥普光电最新报价58.390元，7日内股价上涨1.2%；市盈率为208.54。公司子公司禹衡光学产品在国产高精度数控机床，特别是五轴加工中心、高精度磨床等已经实现批量应用。
北方华创：12月31日开盘消息，北方华创最新报价459.080元，涨0.02%，3日内股价上涨1.37%；市盈率为43.42。半导体设备全产业链布局，覆盖光刻、沉积、刻蚀，为国产CPU制造提供一站式设备支持。
南方财富网所有资讯内容不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎。据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。