光刻机上市公司有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机上市公司有：
安泰科技，公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备。
联合精密，投资光刻机零部件铸件（但后续无实质性进展）。
国机精工，公司研制的金刚石光学窗口片可用于光刻机高功率二氧化碳激光器窗口。
蓝英装备，龙头。北京时间2月13日，蓝英装备开盘报价20.3元，收盘于20.220元，相比上一个交易日的收盘跌0.44%报20.31元。当日最高价20.57元，最低达20.22元，成交量310.19万手，总市值68.43亿元。
在总资产收益率方面，从2021年到2024年，分别为-3.08%、-2.55%、-0.98%、-1.1%。
光刻机晶圆清洗设备国产替代，技术获ASML认证。
华特气体，龙头。截止2月13日下午三点收盘，华特气体(688268)涨0.41%，股价为65.510元，盘中股价最高触及66.6元，最低达64.45元，总市值78.61亿元。
在总资产收益率方面，公司从2021年到2024年，分别为7.96%、9.92%、6.17%、5.69%。
雅克科技，龙头。2月13日，雅克科技(002409)15点报90.150元，当日最低达89.31元，成交额8.66亿元。
在总资产收益率方面，公司从2021年到2024年，分别为5.16%、6.1%、5.17%、6.14%。
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