据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机龙头股上市公司有：
1、雅克科技：5月23日开盘消息，雅克科技5日内股价下跌1.41%，截至下午三点收盘，该股报53.270元，跌0.86%，总市值为253.53亿元。
雅克科技公司2025年第一季度实现营业总收入21.18亿，同比增长30.88%；净利润2.6亿，同比增长5.85%；每股收益为0.55元。
2019年净利润2.53亿元，同比增90.64%；公司并购华飞电子、江苏先科、成都科美特并设立雅克福瑞整合电子特气等半导体材料行业资源，打造综合性半导体材料平台。
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2、上海电气：5月26日消息，上海电气7日内股价上涨10.21%，截至收盘，该股报8.030元，涨7.93%，总市值为1251.06亿元。
上海电气公司2024年第三季度总营收267.27亿，同比增长5.67%；净利润1.57亿，同比增长-32.2%。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技：5月26日消息，东材科技5日内股价下跌4.21%，该股最新报9.270元涨0.65%，成交5852.15万元，换手率0.7%。
万业企业：5月26日消息，报13.900元，换手率0.56%，成交量519.1万手，成交额7207.58万元。
电科数字：5月26日开盘消息，电科数字涨0.91%，最新报23.330元，成交金额1.02亿元，换手率0.71%，振幅涨0.6%。
华微电子：5月23日开盘消息，ST华微（600360）涨3.19%，报6.990元，成交额2.26亿元。
东方明珠：5月26日开盘最新消息，东方明珠昨收7.25元，截至15点，该股涨0.97%报7.320元 。
阿为特：5月22日开盘消息，阿为特报42.370元/股，跌4.18%。今年来涨幅上涨16.31%，成交总金额4917.55万元。
晶方科技：5月26日消息，晶方科技(603005)开盘报26.75元，截至11时35分，该股涨0.86%报27.040元，换手率1.8% ，成交额3.16亿元。
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