据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机龙头上市公司有：
飞凯材料：龙头股，飞凯材料（300398）3日内股价3天下跌，下跌3.28%，最新报19.21元，2025年来上涨17.96%。
从近三年净利润复合增长来看，公司近三年净利润复合增长为-24.69%，最高为2022年的4.35亿元。
公司的半导体级光刻胶产品已进入客户验证阶段。
芯源微：龙头股，近3日芯源微上涨3.16%，现报97.03元，2025年股价上涨13.81%，总市值195.16亿元。
芯源微从近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为0.66%，最高为2023年的2.51亿元。
国内唯一覆盖前道涂胶显影与后道封装光刻设备的企业，技术对标日本TEL。行业地位：2024年国产光刻机配套设备市占率超60%，客户涵盖中芯、华虹等。增长潜力：先进封装设备需求激增，订单排期已至2025年。
南大光电：龙头股，近3日股价下跌0.19%，2025年股价下跌-22.43%。
从公司近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为20.47%，最高为2024年的2.71亿元。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技：近7日东材科技股价上涨7.41%，2025年股价上涨22.43%，最高价为9.79元，市值为87.17亿元。
万业企业：近7个交易日，万业企业上涨1.29%，最高价为13.75元，总市值上涨了1.68亿元，上涨了1.29%。
电科数字：电科数字近7个交易日，期间整体上涨3.46%，最高价为22.84元，最低价为23.83元，总成交量3060.76万手。2025年来下跌-0.93%。
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