据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机龙头股上市公司有：
芯源微：龙头股。
6月17日消息，芯源微6月17日主力资金净流出1674.96万元，超大单资金净流出727.27万元，大单资金净流出947.7万元，散户资金净流入1471.56万元。
6月17日消息，芯源微7日内股价下跌2.82%，最新报94.370元，市盈率为93.44。
康达新材：龙头股。
6月17日消息，康达新材6月17日主力资金净流出1997.44万元，超大单资金净流出396.96万元，大单资金净流出1600.48万元，散户资金净流入3824.88万元。
截止15点收盘，康达新材报11.460元，跌1.8%，总市值34.77亿元。
雅克科技：龙头股。
6月17日消息，雅克科技6月17日主力净流出2467.92万元，超大单净流出827.91万元，大单净流出1640.01万元，散户净流入1147.52万元。
雅克科技最新报价51.500元，7日内股价下跌3.63%；今年来涨幅下跌-12.52%，市盈率为28.12。
光刻机上市公司其他的还有：
东材科技：近7日XD东材科股价下跌7.52%，2025年股价上涨16.59%，最高价为9.8元，市值为81.07亿元。
万业企业：近7个交易日，万业企业下跌3.1%，最高价为13.88元，总市值下跌了3.91亿元，下跌了3.1%。
电科数字：近7个交易日，电科数字下跌3%，最高价为23.61元，总市值下跌了4.73亿元，2025年来下跌-3.96%。
华微电子：近7日ST华微股价下跌3.34%，2025年股价上涨38.85%，最高价为7.94元，市值为71.93亿元。
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