据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机概念上市公司龙头有：
1、冠石科技：国产光刻机龙头股。
2025年第一季度冠石科技实现营业总收入3.37亿元，同比增长22.32%；实现扣非净利润-1195.48万元，同比增长-234.9%；冠石科技毛利润为1943.91万，毛利率5.77%。
根据公司规划2025年45nm掩膜板量产，2028年28nm掩膜版量产。
2、福晶科技：国产光刻机龙头股。
2025年第一季度季报显示，福晶科技公司实现总营收2.39亿，同比增长15.22%，净利润为4991.45万，毛利润为1.19亿。
研发的KBBF晶体为可直接倍频产生EUV激光的非线性光学晶体。
3、海立股份：国产光刻机龙头股。
2025年第一季度季报显示，公司实现营业总收入67.53亿元，同比增长21.03%；实现扣非净利润729.18万元，同比增长141.58%；海立股份毛利润为7.43亿，毛利率10.99%。
国产光刻机股票其他的还有：
上海机电：近5个交易日股价上涨8.49%，最高价为32.58元，总市值上涨了25.57亿，当前市值为301.3亿元。
东方明珠：回顾近5个交易日，东方明珠有5天上涨。期间整体上涨6.1%，最高价为8.71元，最低价为7.79元，总成交量3.16亿手。
上海电气：近5日上海电气股价下跌3.17%，总市值下跌了41.96亿，当前市值为1322.46亿元。2025年股价上涨4.7%。
华懋科技：近5个交易日股价上涨6.92%，最高价为54.23元，总市值上涨了12.14亿，当前市值为179.67亿元。
彤程新材：近5个交易日股价上涨3.88%，最高价为35.66元，总市值上涨了8.26亿。
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