据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机核心部件概念龙头股票有：
1、同飞股份：龙头，9月8日消息，同飞股份(300990)开盘报70.3元，截至15时收盘，该股跌3.11%报68.200元，换手率5.98% ，成交额3.19亿元。
2024年报显示，同飞股份净利润1.53亿，同比增长-15.87%，近四年复合增长为8.55%；毛利率22.06%。
2、福晶科技：龙头，9月8日15点，福晶科技跌2.22%，报41.840元；5日内股价下跌6.48%，成交额7.63亿元，市值为196.75亿元。
2024年报显示，福晶科技实现净利润2.19亿，同比增长4.65%，近五年复合增长为11.08%；毛利率53.76%。
3、奥普光电：龙头，9月8日消息，奥普光电截至14时20分，该股跌0.46%，报49.750元，5日内股价下跌3.52%，总市值为119.4亿元。
2024年报显示，奥普光电实现净利润6642.03万，同比增长-23.33%，近五年复合增长为7.87%；毛利率34.48%。
中国科学院长春光机所旗下唯一控股上市企业，国内高端光栅编码器企业，潜在用途包括光刻机。禹衡光学半导体领域光栅尺完成小批量验证。
4、张江高科：龙头，9月8日下午3点收盘，张江高科跌1.97%，报34.290元；5日内股价下跌11.08%，成交额20.19亿元，市值为531.05亿元。
公司2024年实现净利润9.82亿，同比增长3.64%，近三年复合增长为9.31%；毛利率56.77%。
5、蓝英装备：龙头，蓝英装备（300293）涨1.66%，报23.920元，成交额2.32亿元，换手率3.48%，振幅涨1.66%。
2024年，蓝英装备公司实现净利润-2175.89万，同比增长-3.71%，近五年复合增长为-41.35%；毛利率27.31%。
光刻机核心部件概念股其他的还有：
炬光科技：回顾近7个交易日，炬光科技有3天下跌。期间整体下跌3.95%，最高价为125元，最低价为143元，总成交量5284.02万手。
腾景科技：回顾近7个交易日，腾景科技有4天上涨。期间整体上涨19.31%，最高价为66.06元，最低价为96.4元，总成交量1.21亿手。
美埃科技：近7个交易日，美埃科技上涨5.45%，最高价为48.36元，总市值上涨了3.76亿元，2025年来上涨35.04%。
茂莱光学：近7个交易日，茂莱光学下跌14.19%，最高价为441元，总市值下跌了29.56亿元，下跌了14.19%。
东方中科：近7个交易日，东方中科下跌3.73%，最高价为30.22元，总市值下跌了3.3亿元，下跌了3.73%。
金力泰：ST金泰近7个交易日，期间整体上涨1.71%，最高价为5.15元，最低价为6.06元，总成交量2.13亿手。2025年来下跌-23.05%。
苏大维格：苏大维格近7个交易日，期间整体上涨20.02%，最高价为24.81元，最低价为34.57元，总成交量4.14亿手。2025年来上涨32.66%。
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