据南方财富网概念查询工具数据显示，PECVD概念股有：
微导纳米：截至10月15日14时54分，微导纳米报53.690元，涨6.78%，换手率9.93%，成交量1004.98万手，市值为247.6亿元。
公司已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面Al2O3工艺均已实现产业化应用。公司祝融（ZR）系列产品集成了PEALD与PECVD技术，在PERC电池、TOPCon电池中均已实现产业化应用。在PERC电池中，客户可以在同一设备中采用两种不同技术完成对PERC电池背面Al2O3和SiNX的沉积；在TOPCon电池中，客户在同一设备中可连续完成对TOPCon电池超薄SiOX隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备。公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。
通威股份：10月15日消息，通威股份7日内股价上涨10.18%，最新报24.370元，成交额43.03亿元。
公司“TNC”技术采用通威自主研发的PECVD多晶硅沉积技术路线，通过原位掺杂方式降低电阻，提高填充因子，进而提升光电转换效率。当前以公司“TNC”技术生产的高效组件具备全面量产条件，其双面组件在全面保证质量的前提下，较传统的PERC双面组件平均单W发电量将增益3%-5%。
北方华创：10月15日消息，北方华创资金净流出1.15亿元，超大单资金净流入-2475.3万元，最新报412.380元，换手率1.5%，成交总金额44.01亿元。
公司可以提供第三代半导体相关设备，其中碳化硅方面，可以提供长晶炉、外延炉、刻蚀、高温退火、氧化、PVD、清洗机等设备，氮化镓方面可以提供刻蚀、PECVD、清洗机等设备。
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