据南方财富网概念查询工具数据显示，PECVD相关上市公司有：
三安光电总股本44.79万股，流通A股40.78万股，每股收益0.05元。
公司可以提供第三代半导体相关设备，其中碳化硅方面，可以提供长晶炉、外延炉、刻蚀、高温退火、氧化、PVD、清洗机等设备，氮化镓方面可以提供刻蚀、PECVD、清洗机等设备。目前公司生产经营保持正常。
北方华创总股本4.97万股，流通A股4.59万股，每股收益10.57元。
GAA晶体管要求PECVD沉积的介电薄膜厚度偏差控制在+0.5A以内，北方华创PECVD设备已突破28nm节点，2nm方向聚焦超低温沉积（≤350°C）及原位退火集成技术，但高深宽比覆盖能力仍落后国际1-2代。
总股本5.54万股，流通A股4.06万股，每股收益-1.07元。
公司于2022年7月29日发布投资者关系活动记录表公告，公司在怀远规划的年产2GW光伏电池及组件项目，已于近期完成土地摘牌、设计规划，预计明年6-7月开始试生产，明年下半年正式投产。在确保公司怀远2GW光伏异质结电池及组件项目如期达产的前提下，公司将优先考虑采用光伏设备子公司与合作伙伴提供的整线设备，同时不排除与目前市场上其它优质的PECVD、PVD设备厂商进行合作。
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