据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻设备股票龙头有：
苏大维格300331：光刻设备龙头股
10月24日消息，苏大维格3日内股价上涨3.33%，最新报33.300元，涨3.77%，成交额4.87亿元。
10月24日消息，资金净流入4118.86万元，超大单净流入146.86万元，成交金额4.87亿元。
福晶科技002222：光刻设备龙头股
10月22日，福晶科技(002222)下午3点收盘股价报46.090元，涨0.4%，市值为216.74亿元，换手率3.06%，当日成交额6.53亿元。
10月24日消息，福晶科技主力资金净流入2286.47万元，超大单资金净流入620.86万元，散户资金净流出1440.75万元。
张江高科600895：光刻设备龙头股
10月21日，张江高科开盘报44.16元，截至15点，该股涨1.54%，报价为45.550元，当日最高价为44.95元。换手率3.58%，市盈率为72.3，7日内股价下跌2.06%。
10月24日消息，张江高科10月24日主力资金净流入4632.9万元，超大单资金净流入4190.96万元，大单资金净流入441.94万元，散户资金净流出2204.46万元。
光刻设备概念股其他的还有：
京华激光：近5日股价上涨3.58%，2025年股价上涨33%。
福光股份：近5日福光股份股价上涨1.19%，总市值上涨了5298.53万，当前市值为44.49亿元。2025年股价下跌-2.85%。
芯源微：回顾近5个交易日，芯源微有3天下跌。期间整体下跌0.18%，最高价为131.43元，最低价为124元，总成交量2360.24万手。
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