中小板光刻机板块股票有华亚智能、中瓷电子、福晶科技、雅克科技、北方华创、智光电气、大族激光、胜利精密、普利特、奥普光电等28家。根据南方财富网概念库股票工具数据整理，在市值上，截至3月25日，中小板光刻机板块股票市值排名情况如下：
一、北方华创：3374.1亿元
公司从事电子产品的研发、生产、销售和技术服务。
二、大族激光：657.92亿元
公司主要从事激光加工及自动化系统集成设备制造。
三、紫光国微：585.31亿元
公司业务有集成电路芯片设计与销售。
四、雅克科技：393.97亿元
公司业务有主要从事磷酸酯阻燃剂和其他橡塑助剂的研发、生产和销售。
五、中瓷电子：364.99亿元
公司从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售。
六、福晶科技：319.53亿元
公司业务有光学晶体、晶体材料、激光器件。
七、联泓新科：258.97亿元
公司从事高分子材料及特种化学品的研发、生产与销售。
八、国机精工：236.84亿元
公司业务有轴承、电主轴的研发和生产。
九、永太科技：203.81亿元
公司从事新材料的研发、生产、销售和服务。
十、普利特：165.74亿元
公司业务有显示材料、环保材料。
数据仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担，股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。