2024年第二季度，光刻机板块股票研发支出排行榜中，上海电气（601727）研发支出总额高达23.27亿，北方华创（002371）和大族激光（002008）排名第二和第三，紫光国微（002049）、华润微（688396）、中微公司（688012）、海立股份（600619）、盛美上海（688082）、纳芯微（688052）、三安光电（600703）进入前十，研发支出总额分别排名第4-10名。
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