《南方财富网概念库》财报工具数据整理，截至第四季度，光刻机相关公司净利率排名前十依次是：上海机电。
1、晶方科技（603005）24.09%
2025年第四季度显示，公司总营收4.08亿元，同比增长35.86%， 净利率24.09%，毛利率45.4%。
2、思泰克（301568）19.96%
2025年第四季度显示，思泰克公司总营收1.7亿元，同比增长28.24%， 净利率19.96%，毛利率48.92%。
3、芯碁微装（688630）19.2%
芯碁微装公司2025年第四季度营收同比增长101.08%至4.75亿元， 毛利率36.36%，净利率19.2%。
4、上海新阳（300236）16.49%
2025年第四季度季报显示，公司营收同比增长33.03%至5.43亿元， 毛利率42.39%，净利率16.49%。
5、旭光电子（600353）12.07%
2025年第四季度季报显示，旭光电子营业总收入同比增长-2.95%至4.54亿元，毛利率23.11%，净利率12.07%。
6、新宙邦（300037）10.99%
2025年第三季度季报显示，公司营收同比增长13.6%至23.68亿元， 毛利率23.53%，净利率11.52%。
7、盛美上海（688082）7.92%
2025年第四季度季报显示，公司营收同比增长-0.08%至16.4亿元， 毛利率44.48%，净利率7.92%。
8、华融化学（301256）4.42%
华融化学公司2025年第四季度营收同比增长10.32%至4.23亿元， 毛利率7.82%，净利率4.42%。
9、上海机电（600835）3.8%
上海机电2025年第四季度季报显示，公司营收同比增长-8.24%至45.86亿元，毛利率16.33%，净利率3.8%。
10、世名科技（300522）0.79%
2025年第四季度，公司营收同比增长4.77%至1.8亿元，毛利率24.33%，净利率0.79%。
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