《南方财富网概念库》财报工具数据整理，截至一季度，光刻机核心部件概念上市公司每股收益排名中，同飞股份位列第一位，每股收益达到0.35元；美埃科技排名第二，每股收益为0.23元；福晶科技排名第三，每股收益0.14元。排名前10的还有：富乐德、奥普光电、苏大维格、腾景科技、麦克奥迪、波长光电、张江高科。
NO.1、同飞股份：0.35元
公司所在地：河北
所属行业：通用设备
公司2026年第一季度季报显示，同飞股份总营收6.99亿，毛利率22.79%，每股收益0.35元。
NO.2、美埃科技：0.23元
公司所在地：江苏
所属行业：环保行业
2026年第一季度，美埃科技公司实现总营收4.58亿， 毛利率26.56%，每股收益0.23元。
NO.3、福晶科技：0.14元
公司所在地：福建
所属行业：光学光电子
公司2026年第一季度季报显示，2026年第一季度总营收3.24亿，毛利率44.93%，每股收益0.14元。
NO.4、富乐德：0.13元
公司所在地：安徽
所属行业：半导体
2026年第一季度季报显示，富乐德实现总营收7.58亿元， 毛利率31.34%，每股收益0.13元。
NO.5、奥普光电：0.13元
公司所在地：吉林
所属行业：仪器仪表
公司2026年第一季度季报显示，奥普光电总营收2.26亿，毛利率30.65%，每股收益0.13元。
NO.6、苏大维格：0.12元
公司所在地：江苏
所属行业：光学光电子
苏大维格2026年第一季度公司总营收5.21亿，毛利率27.08%，每股收益0.12元。
NO.7、腾景科技：0.11元
公司所在地：福建
所属行业：光学光电子
公司 2026年第一季度实现总营收1.71亿， 毛利率37.22%，每股收益0.11元。
NO.8、麦克奥迪：0.08元
公司所在地：福建
所属行业：电网设备
麦克奥迪2026年第一季度季报显示，公司实现总营收3.88亿， 毛利率39.61%，每股收益0.08元。
NO.9、波长光电：0.06元
公司所在地：江苏
所属行业：光学光电子
2026年第一季度，波长光电公司实现总营收9788.87万， 毛利率31.64%，每股收益0.06元。
NO.10、张江高科：0.05元
公司所在地：上海
所属行业：房地产
张江高科2026年第一季度季报显示，公司实现总营收8.38亿， 毛利率25.7%，每股收益0.05元。
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