2026年第一季度，光刻机上市公司财务费用排名如下：上海电气（601727）的财务费用总额高达3.29亿，张江高科（600895）和兴发集团（600141）分别位居第二和第三，长电科技（600584）、华虹公司（688347）、海立股份（600619）、至纯科技（603690）、北方华创（002371）、百川股份（002455）、永太科技（002326）分别进入前十，其财务费用总额分别排名第4-10名。
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