据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻设备上市公司龙头股有：
苏大维格300331：光刻设备龙头。
9月8日，苏大维格（300331）5日内股价上涨10.31%，今年来涨幅上涨32.66%，跌4.6%，最新报32.120元/股。
9月8日该股主力资金净流出1.4亿元，超大单资金净流出1.86亿元，大单资金净流入4582.87万元，中单资金净流入1859.64万元，散户资金净流入1.21亿元。
张江高科600895：光刻设备龙头。
截止下午3点收盘，张江高科报34.290元，跌1.97%，总市值531.05亿元。
资金流向数据方面，9月8日主力资金净流流出2.75亿元，超大单资金净流出1.63亿元，大单资金净流出1.12亿元，散户资金净流入2.04亿元。
奥普光电002338：光刻设备龙头。
奥普光电（002338）10日内股价下跌11.54%，最新报49.750元/股，跌0.46%，今年来涨幅上涨24.18%。
9月8日消息，奥普光电资金净流出3864.12万元，超大单资金净流出1634.41万元，换手率2.58%，成交金额3.08亿元。
福晶科技002222：光刻设备龙头。
福晶科技（002222）10日内股价下跌3.61%，最新报41.840元/股，跌2.22%，今年来涨幅上涨22.56%。
9月8日消息，福晶科技9月8日主力资金净流出9307.46万元，超大单资金净流出6937.21万元，大单资金净流出2370.25万元，散户资金净流入6964.54万元。
光刻设备上市公司其他的还有：
京华激光603607：近3日股价上涨4.12%，2025年股价上涨33.55%。
福光股份688010：回顾近3个交易日，福光股份期间整体上涨4.37%，最高价为28.29元，总市值上涨了2.14亿元。2025年股价上涨6.34%。
芯源微688037：回顾近3个交易日，芯源微有2天上涨，期间整体上涨6.63%，最高价为112.63元，最低价为126.96元，总市值上涨了16.55亿元，上涨了6.63%。
盛美上海688082：近3日盛美上海上涨3.77%，现报143.41元，2025年股价上涨31.75%，总市值646.58亿元。
安达智能688125：近3日安达智能股价上涨8.71%，总市值上涨了2.04亿元，当前市值为38.65亿元。2025年股价上涨17.19%。
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