据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机龙头上市公司有：
蓝英装备：龙头股。蓝英装备近7个交易日，期间整体上涨0.76%，最高价为23.12元，最低价为24.26元，总成交量5640.68万手。2025年来上涨3.52%。
2024年，公司实现净利润-2175.89万，同比增长-3.71%，近三年复合增长为-36.81%；每股收益-0.06元。
公司控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案，在某特定工艺上公司是其全球唯一供应商。
福晶科技：龙头股。近7日股价上涨6.19%，2025年股价上涨30.86%。
福晶科技公司2024年实现净利润2.19亿，同比增长4.65%，近三年复合增长为-1.69%；毛利率53.76%。
冠石科技：龙头股。在近7个交易日中，冠石科技有3天下跌，期间整体下跌0.76%，最高价为56.44元，最低价为54.83元。和7个交易日前相比，冠石科技的市值下跌了3085.66万元。
公司2024年实现净利润-1545.51万，同比增长-129.6%。
飞乐音响：回顾近5个交易日，飞乐音响有4天下跌。期间整体下跌10.38%，最高价为9.41元，最低价为9元，总成交量2.98亿手。
上海机电：回顾近5个交易日，上海机电有3天下跌。期间整体下跌2.65%，最高价为26.77元，最低价为24.96元，总成交量6112.38万手。
电科数字：近5个交易日股价上涨0.18%，最高价为28.71元，总市值上涨了3400.99万，当前市值为187.33亿元。
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