据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机零部件股票龙头股有：
福晶科技：光刻机零部件龙头股
近7日福晶科技股价下跌14.63%，2026年股价上涨9.89%，最高价为75.28元，市值为319.53亿元。
中科院旗下非线性光学晶体龙头，间接供应光刻机光源材料。
富创精密：光刻机零部件龙头股
富创精密近7个交易日，期间整体上涨0.24%，最高价为94.15元，最低价为112.86元，总成交量4476.86万手。2026年来上涨28.62%。
炬光科技：光刻机零部件龙头股
炬光科技近7个交易日，期间整体下跌18.79%，最高价为362元，最低价为408.49元，总成交量4542.11万手。2026年来上涨45.17%。
腾景科技：回顾近5个交易日，腾景科技有3天上涨。期间整体上涨2.83%，最高价为235.82元，最低价为205元，总成交量3916.65万手。
茂莱光学：近5个交易日股价下跌5.23%，最高价为378.98元，总市值下跌了9.83亿。
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