据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻技术概念股有：
苏大维格（300331）：
从近三年ROE来看，苏大维格近三年ROE均值为-12.72%，过去三年ROE最低为2021年的-20.47%，最高为2023年的-2.7%。
公司长期从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制领域积累了丰富且较为完善的技术经验，可为国内外高等院所和企业提供自主可控的直写光刻技术和光电子材料与器件技术方案，包括微纳光学材料、MEMS产品、射频器件、滤波器件等产品的研发与制造，也可为今后裸眼3D显示、光子晶体、半导体功率芯片等研发和制备等方面，提供前沿性和实用性纳米光刻工具。公司光刻设备除自用外，主要向国内外高校及科研院所销售。
近7日苏大维格股价上涨3.7%，2025年股价下跌-3.89%，最高价为20.85元，市值为54.06亿元。
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