据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机股票上市公司龙头有：
海立股份：
光刻机龙头股。海立股份在净利润方面，从2021年到2024年，分别为3.23亿元、3545.62万元、3051.29万元、3384.85万元。
子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统。
回顾近7个交易日，海立股份有4天上涨。期间整体上涨6.17%，最高价为22.19元，最低价为24.99元，总成交量3.57亿手。
蓝英装备：
光刻机龙头股。在净利润方面，从2021年到2024年，分别为-6908.26万元、-5449.71万元、-2098.11万元、-2175.89万元。
蓝英装备近7个交易日，期间整体下跌6.6%，最高价为24.5元，最低价为25.42元，总成交量6670.84万手。2025年来上涨1.94%。
苏大维格：
光刻机龙头股。在净利润方面，苏大维格从2021年到2024年，分别为-3.5亿元、-2.79亿元、-4568.79万元、-5805万元。
近7日股价上涨2.61%，2025年股价上涨35.05%。
奥普光电：
光刻机龙头股。在奥普光电净利润方面，从2021年到2024年，分别为4665.73万元、8180.01万元、8663.52万元、6642.03万元。
在近7个交易日中，奥普光电有5天下跌，期间整体下跌5.08%，最高价为59.22元，最低价为57.49元。和7个交易日前相比，奥普光电的市值下跌了6.79亿元。
福晶科技：
光刻机龙头股。福晶科技在净利润方面，从2021年到2024年，分别为1.91亿元、2.26亿元、2.09亿元、2.19亿元。
回顾近7个交易日，福晶科技有5天上涨。期间整体上涨2.26%，最高价为44.81元，最低价为47.16元，总成交量9680.51万手。
晶瑞电材：
光刻机龙头股。晶瑞电材在净利润方面，从2021年到2024年，分别为2.01亿元、1.63亿元、1482.28万元、-1.8亿元。
近7个交易日，晶瑞电材下跌1.2%，最高价为15.18元，总市值下跌了1.93亿元，下跌了1.2%。
凯美特气：
光刻机龙头股。在净利润方面，凯美特气从2021年到2024年，分别为1.39亿元、1.66亿元、-2561.11万元、-4856.66万元。
近7日股价下跌4.81%，2025年股价上涨75.01%。
冠石科技：
光刻机龙头股。在净利润方面，公司从2021年到2024年，分别为9865.61万元、8163.3万元、5221.6万元、-1545.51万元。
近7个交易日，冠石科技下跌6.29%，最高价为58.03元，总市值下跌了2.53亿元，2025年来上涨25.5%。
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