据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机核心部件龙头股有：
同飞股份（300990）：龙头股。10月20日收盘消息，同飞股份今年来涨幅上涨42.83%，最新报72.240元，成交额3.69亿元。
蓝英装备（300293）：龙头股。【10月21日】今日蓝英装备（300293）主力净流入净额-2369.21万元，占比-13.63%。该股开盘报23.5元，收于23.170元，涨2.1%，总市值为78.42亿元，换手率2.68%。
光刻机核心部件概念股其他的还有：
炬光科技：近5个交易日股价上涨11.98%，最高价为162.98元，总市值上涨了17.42亿，当前市值为145.48亿元。
腾景科技：近5个交易日，腾景科技期间整体上涨17.45%，最高价为123.5元，最低价为93.74元，总市值上涨了26.68亿。
美埃科技：近5个交易日股价上涨1.5%，最高价为45.03元，总市值上涨了9004.8万。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。