据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻气体概念龙头公司有以上几家：
中船特气（688146）：近3日中船特气上涨2.42%，现报39.46元，2025年股价上涨28.26%，总市值203.61亿元。
华特气体（688268）：华特气体在近3个交易日中有2天上涨，期间整体上涨0.5%，最高价为64.43元，最低价为61.71元。2025年股价上涨28.19%。
中巨芯（688549）：近3日中巨芯-U股价上涨7.42%，总市值上涨了14.77亿元，当前市值为164.42亿元。2025年股价上涨23.86%。
雅克科技（002409）：回顾近3个交易日，雅克科技期间整体上涨5.3%，最高价为74.94元，总市值上涨了20.18亿元。2025年股价上涨27.58%。
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