据南方财富网概念查询工具数据显示，微机电系统题材有：
至纯科技（603690）：
从近五年毛利率来看，近五年毛利率均值为34.71%，过去五年毛利率最低为2024年的31.4%，最高为2020年的36.79%。
近3日股价上涨7.08%，2025年股价上涨11.58%。
北方华创（002371）：
从公司近三年ROE来看，近三年ROE均值为18.56%，过去三年ROE最低为2022年的12.96%，最高为2024年的24.83%。
北方华创近3日股价有2天上涨，上涨5.25%，2025年股价下跌-5.56%，市值为2672.82亿元。
晶方科技（603005）：
从近五年ROE来看，晶方科技近五年ROE均值为9.83%，过去五年ROE最低为2023年的3.72%，最高为2020年的17.62%。
晶方科技近3日股价有2天上涨，上涨2.81%，2025年股价上涨6.77%，市值为197.61亿元。
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