据南方财富网概念库数据显示，微机电系统受益股有：
至纯科技（603690）：12月31日消息，至纯科技12月31日主力资金净流入1.52亿元，超大单资金净流入7160.29万元，大单资金净流入8080.24万元，散户资金净流出8932.99万元。
至纯科技从近五年净利润来看，近五年净利润均值为2.45亿元，过去五年净利润最低为2024年的2359.75万元，最高为2023年的3.77亿元。
公司的主营业务为高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售；光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
航天电器（002025）：12月31日该股主力净流入2984.58万元，超大单净流入5935.04万元，大单净流出2950.45万元，中单净流出2533.19万元，散户净流出451.4万元。
航天电器从近五年净利润来看，近五年净利润均值为5.15亿元，过去五年净利润最低为2024年的3.47亿元，最高为2023年的7.5亿元。
随着量子科技、新材料、信息与通信技术及新工艺技术等学科的发展，新材料、新工艺、新技术的不断涌现，元器件微系统化和集成化发展进一步加速。
北方华创（002371）：12月31日消息，北方华创资金净流入2.56亿元，超大单净流入1.66亿元，换手率1.18%，成交金额39.5亿元。
从近五年净利润来看，北方华创近五年净利润均值为26.97亿元，过去五年净利润最低为2020年的5.37亿元，最高为2024年的56.21亿元。
公司利用集成电路设备关键技术的延伸应用，开发了泛半导体领域的刻蚀机、PVD、CVD、扩散炉、退火炉、清洗机等产品，广泛应用于光伏、半导体照明、微机电系统、功率器件、化合物半导体、平板显示等领域，成为行业内的主要设备供应商之一，其中多个产品在细分市场占有率名列前茅，甚至起到了引领行业技术发展的作用。
深南电路（002916）：12月31日消息，资金净流入8349.05万元，超大单资金净流入259.23万元，成交金额15.13亿元。
从公司近五年净利润来看，近五年净利润均值为15.66亿元，过去五年净利润最低为2023年的13.98亿元，最高为2024年的18.78亿元。
2018年中报称，公司是全球领先的无线基站射频功放PCB供应商、亚太地区主要的航空航天用PCB供应商、国内领先的处理器芯片封装基板供应商；公司制造的硅麦克风微机电系统封装基板大量应用于苹果和三星等智能手机中，全球市场占有率超过30%。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎，据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。