据南方财富网概念查询工具数据显示，相关机械抛光设备概念股有：
（1）、富创精密：从近五年总资产收益率来看，富创精密近五年总资产收益率均值为4.77%，过去五年总资产收益率最低为2024年的2.07%，最高为2020年的8.15%。
近30日富创精密股价上涨18.31%，最高价为65.49元，2025年股价上涨20.38%。
（2）、盛美上海：从公司近五年净利润来看，近五年净利润均值为6.39亿元，过去五年净利润最低为2020年的1.97亿元，最高为2024年的11.53亿元。
盛美上海在近30日股价上涨4.21%，最高价为129.98元，最低价为112.08元。当前市值为521.43亿元，2025年股价上涨15.37%。
（3）、华海清科：从公司近五年ROE来看，最高为2021年的27.98%。
化学机械抛光设备龙头，国内12英寸化学机械抛光（CMP）设备唯一供应商。
回顾近30个交易日，华海清科股价上涨3.55%，总市值上涨了36.05亿，当前市值为411.72亿元。2025年股价下跌-39.91%。
（4）、至纯科技：从至纯科技近三年营业总收入来看，近三年营业总收入均值为32.68亿元，过去三年营业总收入最低为2022年的30.5亿元，最高为2024年的36.05亿元。
在近30个交易日中，至纯科技有20天上涨，期间整体上涨7.02%，最高价为27.28元，最低价为24.3元。和30个交易日前相比，至纯科技的市值上涨了7.25亿元，上涨了7.02%。
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