据南方财富网概念查询工具数据显示，机械抛光设备行业上市公司有：
华海清科688120：9月26日消息，华海清科9月26日主力资金净流入1.5亿元，超大单资金净流入9047.45万元，大单资金净流入5906万元，散户资金净流出8781.35万元。
华海清科从近三年总资产收益率来看，近三年总资产收益率均值为9.2%，过去三年总资产收益率最低为2023年的8.54%，最高为2024年的9.81%。
公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，核心技术源自于清华大学摩擦学国家重点实验室。公司的主要产品为化学机械抛光设备（CMP）。
盛美上海688082：9月25日该股主力净入-1.12亿元，其中资金流入方面：超大单净入2.29亿元，大单净入4.75亿元，中单净入5.12亿元，散户净入2.62亿元；资金流出方面：超大单净出3.5亿元，大单净出4.66亿元，中单净出4.9亿元，散户净出1.72亿元。
盛美上海从近五年毛利率来看，近五年毛利率均值为46.95%，过去五年毛利率最低为2021年的42.53%，最高为2023年的50.69%。
拓荆科技688072：9月26日该股主力资金净流入4721.36万元，超大单资金净流入4889.24万元，大单资金净流出167.88万元，中单资金净流出3600.5万元，散户资金净流出1120.86万元。
拓荆科技从近五年净利润来看，近五年净利润均值为3.55亿元，过去五年净利润最低为2020年的-1148.9万元，最高为2024年的6.88亿元。
至纯科技603690：9月26日消息，资金净流出3654.69万元，超大单资金净流入1415.86万元，成交金额11.18亿元。
从近三年净利润来看，至纯科技近三年净利润均值为2.28亿元，过去三年净利润最低为2024年的2359.75万元，最高为2023年的3.77亿元。
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