据南方财富网概念查询工具数据显示，相关CMP机械抛光设备企业有：
至纯科技：
9月30日该股主力净流入2.12亿元，超大单净流入2.58亿元，大单净流出4651.78万元，中单净流出1.53亿元，散户净流出5846.7万元。
回顾近30个交易日，至纯科技股价上涨14.57%，总市值上涨了4603.74万，当前市值为117.2亿元。2025年股价上涨17.81%。
富创精密：
9月29日该股主力净入-2814.78万元，其中资金流入方面：超大单净入4539.01万元，大单净入9931.6万元，中单净入1.58亿元，散户净入1.67亿元；资金流出方面：超大单净出4063.51万元，大单净出1.32亿元，中单净出1.77亿元，散户净出1.2亿元。
近30日富创精密股价上涨19.99%，最高价为77.33元，2025年股价上涨30.57%。
盛美上海：
9月30日消息，盛美上海9月30日主力净流出7195.73万元，超大单净流出218.26万元，大单净流出6977.47万元，散户净流出702.82万元。
回顾近30个交易日，盛美上海上涨41.74%，最高价为219.8元，总成交量2.21亿手。
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