据南方财富网概念库数据显示，相关CMP机械抛光设备概念股票有：
（1）、华亚智能（003043）：
华亚智能从近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为10.38%，过去五年总资产收益率最低为2024年的3.77%，最高为2020年的15.76%。
回顾近7个交易日，华亚智能有4天上涨。期间整体上涨6.11%，最高价为49.1元，最低价为55.1元，总成交量2236.64万手。
（2）、至纯科技（603690）：
从公司近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为3.09%，过去五年总资产收益率最低为2024年的-0.44%，最高为2020年的5.66%。
近7个交易日，至纯科技上涨4.65%，最高价为32.26元，总市值上涨了6.09亿元，2026年来上涨6.22%。
（3）、盛美上海（688082）：
从近五年总资产收益率来看，公司近五年总资产收益率均值为9.78%，过去五年总资产收益率最低为2021年的6.51%，最高为2020年的12.49%。
近7个交易日，盛美上海上涨6.31%，最高价为189元，总市值上涨了63.05亿元，2026年来上涨11.74%。
（4）、富创精密（688409）：
从近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为4.77%，过去五年总资产收益率最低为2024年的2.07%，最高为2020年的8.15%。
富创精密近7个交易日，期间整体上涨15.44%，最高价为78.5元，最低价为98.26元，总成交量8132.18万手。2026年来上涨27.25%。
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